超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列
产品信息
产品类别：表面分析
关键词：电子显微镜,Regulus,系列,扫描,发射,高分辨
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发布时间：2022-07-18 09:22:57
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产品详情
- 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
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采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - 采用污染小、高真空样品仓
- 运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2
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项目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240 二次电子分辨率 0.7 nm
（加速电压15 kV）
0.8 nm
（着陆电压1 kV）*30.6 nm（加速电压 15 kV）
0.7 nm（着陆电压 1 kV）*3着陆电压 0.1～2 kV 0.01～20 kV 放大倍率 20～1,000,000倍*4 20～2,000,000倍*4 样品台 样品台控制 3轴马达台（可选5轴马达台） 5轴马达驱动 移动范围 X 0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～110 mm Y 0～50 mm 0～50 mm 0～110 mm 0～80 mm R 360° T -5～70° Z 1.5～30 mm 1.5～40 mm 再现性 - - - ±0.5 µm以下含±0.5 µm - *3
- 减速模式下观察
- *4
- 以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率
采购：超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列
